超純水制備設備三要是以RO、蒸餾或去離了預處理的純水作為進水，后處理采用復床、混床、EDI等去離子設備做深度處理，其產水用紫外線殺菌，最后送到用水點。可以使產水過程及產水水質非常穩定，產水電阻率可以高達18cmM·Ω。 主要應用領域
半導體、微電子工業、精細化工行業制造用純水 電池(蓄電池)生產的工藝純水 電鍍行業產品表面涂裝，清洗用水 藥劑生產用純水
醫療注射用純水 生化制藥、血液滲析用純水 醫用無菌水
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